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產(chǎn)品中心半導(dǎo)體材料測(cè)試體微缺陷測(cè)試LST體微缺陷測(cè)試設(shè)備
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
LST是檢測(cè)半導(dǎo)體材料的體微缺陷有力工具，通過(guò)CCD相機(jī)，對(duì)入射光在樣品邊沿的散射進(jìn)行掃描，獲得體微缺陷分布信息。
產(chǎn)品分類
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對(duì)缺陷濃度和尺寸更加靈敏
測(cè)試尺寸:20nm到15nm
缺陷濃度:1e5-2.5e10cm–3
上海波銘科學(xué)儀器有限公司主要提供光譜光電集成系統(tǒng)、晶萃光學(xué)機(jī)械和光學(xué)平臺(tái)、激光器、Edmund 光學(xué)元件、Newport 產(chǎn)品、濱松光電探測(cè)器、卓立漢光熒光拉曼光譜儀、是德 Keysight 電學(xué)測(cè)試系統(tǒng)、大塚 Otsuka 膜厚儀、鑫圖科研級(jí)相機(jī)、Semilab 半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備及高低溫探針臺(tái)系統(tǒng)。經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展，上海波銘科學(xué)儀器有限公司在市場(chǎng)上已取得了一定的地位。我們的產(chǎn)品和服務(wù)在行業(yè)內(nèi)具有較高的知zhi名度和美譽(yù)度，客戶遍布全國(guó)。我們將繼續(xù)努力，不斷提升市場(chǎng)地位和影響力。
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